Izolacijski materijali
Kako bi se smanjili toplinski gubitak i osigurala ujednačenost temperature unutar tople zone, opskrbljujemo izolacijske materijale grafita visoke čistoće, uključujući grafitna meka filta, kruta filta i grafitna folija. Ovi materijali djeluju kao toplinske barijere, stabiliziraju temperaturnu okolinu za kristalni rast, kao i epitaksi reaktor. Također mogu smanjiti toplinske gradijente koje mogu utjecati na odlaganje. Naši izolacijski materijali dostupni su sa prilagodljivim rezom i debljinom kako bi se ispunili najzahtjevniji zahtjevi za poluvodički proces.
vidi više